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FD7004PA陶瓷抛光机

FD7004PA陶瓷抛光机


终身可享免费的技术支持和设备升级服务

  • 所属系列:3D陶瓷抛光机
  • 产品型号:FD7004PA
订购热线:0755-26527403

FD7004PA陶瓷抛光机

主要用途:

本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面高精密研磨及抛光。

设备特点:1.本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和控制方法,研磨加工效率高,运行稳定。

2.整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统稳定性高。

3.主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤。

4.工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。

5.上压盘采用主动驱动方式,在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。

6.研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。

7.设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度。

设备参数:

磨盘规格

700mm

陶瓷盘直径

240-260mm

主电机功率

4KW/380V

压盘电机功率

0.4KW/380V*4(选配)

主电机转速

100rpmmax

设备工位数

4

设备规格

1200*1500*2300mm

设备重量

2000KG


设备图片:

3D陶瓷抛光机650532

该设备磨抛效果:

2点5D陶瓷后盖研磨效果图500

蓝宝石研磨效果500400

技术参数 

  抛光盘尺寸                                                     Φ700mm×   Φ160mm×12.7mm 

  工作工位                                                      4  组  

  陶瓷吸盘直径                                                    Φ305mm  

  加压方式                                                      气缸加压  

  主电机功率                                                     4 KW/380V  

  工件盘驱动功率(伺服马达)                                             0.4KW/380V ×4 (选配)  

  工作气压                                                      0.4-0.6MPa  

  工件盘转 速                                                    1-40rpm  

  抛光盘转速                                                     5- 100rpm  

  加工粗糙度                                                     Ra:0.0002  

  设备总重量                                                     1800 kg  

  外形尺寸L ×W ×H                                               950 ×1350 ×2300 mm  


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