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FD7004PA硅片研磨机
FD7004PA硅片研磨机

♦  FD7004PA硅片研磨机 主要用途: 本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面高精密研磨及抛光。 设备特点:1.本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和控制方法,研磨加工效率高,运行稳定。 2.整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统稳定性高。 3.主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤。 4.工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高

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FD-9104PA硅片抛光机
FD-9104PA硅片抛光机

♦  FD-9104PA硅片抛光机 主要用途: 广泛用于多种尺寸的硅片的单面抛光及镜面抛光。 设备参数: 抛光盘尺寸 Φ910mm 工作工位 4组 陶瓷吸盘直径 Φ400mm 加压方式 气缸加压 主电机功率 7.5KW/380V 工件盘驱动功率 0.4KW/380V 工作气压

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