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FD-150A立式减薄机(晶圆减薄机)

FD-150A立式减薄机(晶圆减薄机)


终身可享免费的技术支持和设备升级服务

  • 所属系列:减薄机
  • 产品型号:FD-42010A
订购热线:0755-26527403


立式减薄机(FD-150A,FD-200A,FD-320A,FD550A晶圆减薄机)

主要用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的高速减薄。
立式减薄机主要特点:

1、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320-600mm。。
2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。
3、砂轮进给模式分三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果,
4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作,不需要每次都要对刀。
5、本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。
6、本机采用先进的台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。

7、设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
2.减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度最高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度最高可减薄250微米。
主要技术参数:

设备图片:

硅片减薄机(晶圆减薄机)



该设备减薄效果图:

硅片减薄到50um的厚度效果





技术参数:

工件盘直径

Φ420mm

工件盘数量

10个(2位)

毛刷盘直径

Φ460

毛刷盘数量

10个

工件盘转速

0-60RPM

毛刷盘转速

0-300RPM

升降伺服马达功率

2台1KW

位移马达功率

0.75KW

工作气压

0.4-0.6MPa

整机重量

270kg

外型尺寸(L*W*H

2510*1860*2170mm



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