FD-9104PA硅片抛光机

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所属系列：硅片研磨抛光机
产品型号：FD-9104PA

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硅片抛光机,FD-9104PA硅片抛光机

FD-9104PA硅片抛光机

主要用途：

广泛用于多种尺寸的硅片的单面抛光及镜面抛光。

设备参数：

抛光盘尺寸	Φ910mm
工作工位	4组
陶瓷吸盘直径	Φ400mm
加压方式	气缸加压
主电机功率	7.5KW/380V
工件盘驱动功率	0.4KW/380V
工作气压	0.4-0.6MPa
工件盘转速	5-40RPM
抛光盘转速	10-80RPM
加工粗糙度	Ra:0.0002
设备总重量	2300kg
外型尺寸（LWH）	165012002300mm

设备图片：

9104PA

该抛光机抛光后的效果：

硅片2

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