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07
2017-12
影响硅片抛光去除速率和表面质量的主要因素都有那些?
化学机械抛光是目前最为常见的半导体材料表面平面技术,它是机械摩擦与化学腐蚀相结合了两者优点的工艺;可以获得较为完美的晶片表面。硅片在采用陶瓷抛光机进行抛光工序时,影响加工过程中去除速率与加工表面质量的因素以以下几点为主: 1.化学因素 化学因素其中包含着:抛光液中的PH值、抛光液的浓度值、流量抛光过程中控制的温度。其中以抛光液中的PH值对去除率影...
06
2017-12
氧化铝陶瓷基片在使用陶瓷研磨机加工前需要做那些准备?
氧化铝陶瓷片基片具有硬度高、脆性大、易产生裂纹,表面加工难度在,且加工后很难保证表面质量与完整性。为了让陶瓷研磨机/抛光机能加工出优质的加工表面,氧化铝陶瓷基片在进行加工前需要对基片进行清洗步骤如下: 1.将氧化铝陶瓷基片浸没入无水乙醇溶液中,放置十分钟后取出,采用棉签擦拭表面不洁净处。这样能去除基片表面原有的有机物等污染。 2.先用离子水冲洗被水乙...
04
2017-12
最适合蓝宝石晶片高精密加工方法都有那些?
蓝宝石具有硬度高,脆性大,化学性稳定是作为光学材料的优良,但同时也是加工的难点。想要获得加工表面超光滑的蓝宝石,可以采用以下加工方法: 1.水合抛光 水合抛光其原理是:在陶瓷抛光机加工过程中抛光盘与蓝宝石表面产生的摩擦,接触点产生高温高压,蓝宝石表面的原子呈活性化,利用过热水蒸汽气分子和水作用其表面,使之在界面上形成水合化学反应层,再借助过热水的...
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